FZ-30和FZ-35是PVA TePla目前最大的區熔法長晶爐,其晶棒直徑可達8吋,高度可達2000mm。其設計使機器重心剛好在熔化區內。為了防止外部的震動,FZ-30和FZ-35還配有自動調整系統和保護系統。此外,主反應室也可
配備氣體參雜裝置。
技術參數 |
1. 最長晶棒長度: 2,700 mm |
2. 最長原料棒長度: 2,000 mm |
3. 晶棒直徑: 最大至200 mm |
4. 拉速: 0 – 30 mm/min |
5. 轉速: 0 – 30 rpm |
6. 設備尺寸: 3,800 x 4,050 x 11,550mm |
7. 面積: 5,000 x 6,000 mm |
8. 重量: 約 14,000 Kg |