為了省下在生產單晶矽棒過程中所耗費的大量氬氣氣體,ReiCat設計並生產了一整套的系統使珍貴的技術性氣體可以得到最有效的應用, 讓您不用再為氬氣花上大把的金錢。
優點 |
1. 氬氣的消耗量可降低至少80% |
2. 利用遠端操控以進行全自動操作 |
3. 成本回收期短 |
4. 氣體純度品質保證高於99.999% |
5. 永續性的環境保護 |
6. 三種不同的製程處理能力:100m3/hr, 200m3/hr, 400m3/hr |
7. 尚有其他不同技術氣體回收系統 |
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