VGF 732 Si HC

 

 VGF 732 Si HC是專為生產多晶矽晶圓所設計的多晶矽鑄錠爐。新型的HC系列因採用高度可達520mm的坩鍋，因此最大的裝料量可達560公斤。PVA TePla所設計的爐子具有高度的溫度一致性，可精準控制溫度。如此完美的設計即使在坩鍋高度加高後，也能輕鬆達到與用標準420mm坩鍋鑄造出的晶錠一樣的品質。

  性能特點
  1. 坩鍋設計：不銹鋼材質，底部裝料採電動式裝置
  2. 加熱系統：三個獨立可調整的熱場
  3. 坩鍋尺寸：最大 883 mm x 883 mm x 520 mm
  4. 晶錠尺寸：約 834 mm x 834 mm x max. 340 mm*
  5. 十分適合用於多晶矽的分析評估
  6. 晶錠重量：約420 – 560 kg*
*實際情況要視填料的密度和使用的坩鍋高度而定。
  其他特色
  1. 六面加熱的熱場使得效率提升，運作週期減短。
  2. 底部裝料系統易於操作和維修。
  3. 獨立控制的加熱器可確保品質穩定和較少的應力。
  4. 特殊設計的通風口可降低含碳量。