石墨加熱真空爐(COV)是高效能且彈性很大、應用範圍很廣的爐子。在各個不同的溫度下、搭配不同的製程氣體，可以做到很多種不同的應用。典型的應用領域是燒結（包含脫蠟）、釬焊、脫氣、熱處理、材料純化、CVD鍍膜等。

COV爐特別適合拿來做為清潔石墨材料以及MOCVD托盤的不純物質，適合應用在LED或是半導體、太陽能等對於材料的純度會有一定的要求的長晶產業。

 

應用範圍:

1,100 °C	熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、還原反應
1,350 °C	熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、燒結、CVD鍍膜
1,600 °C	脫蠟、硬金屬燒結、長晶、純化、CVD鍍膜
1,800 °C	無氧陶瓷燒接
2,000 °C	熱裂解、脫氣、純化、燒結
2,200 °C	脫氣、純化、碳化矽燒結、石墨化

        

特點:

1.最高工作温度2200℃

2.可用空間：4.5 － 2250 L

3.根據客戶需求，可配置不同數量的獨立加熱 (最多8 個)

4.在工作區域內，溫度均勻性達±3°C

5.極限真空1 x10-5 mbar

6.對於壓鑄成形、粉末冶金等工件能高效脫蠟

7.能在可燃性氣體下進行製程

8.所有資料數據接存放於電腦中以人性化界面呈現

9.可選擇直立式或是臥式爐

 

各型號規格:(亦可客製化)

型號:COV 1263 R
工作溫度: 2,200 °C
可用尺寸 (寬x高x長): 1400 x 800 x 2000 mm
可用空間: 2,240 L
功率: 800 kVA

型號: COV 942 R
工作溫度: 1,800 °C
可用尺寸 (直徑x高):  Ø 1500 x 2500 mm
可用空間: 約4,400L
功率: 500 kVA

型號: COV 633 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (寬x高x長): 450 x 450 x 900 mm
可用空間:約182 L
功率: 120 kVA

型號: COV 231 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (直徑x高):  Ø 200 x 300 mm
可用空間: 約9.4 L
功率: 25 kVA

型號: COV 131 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (直徑x高): Ø 150 x 250 mm
可用空間: 約4.4 L
功率: 20 kVA

型號： COV 733R*
1. 可用空間： 約375L
2. 可用尺寸：1,000mx 500mx 750m(長x寬x高)
3. 最大裝料量：約600公斤
4. 最大可達溫度： 1,700°C
5. 溫差：± 10K

*若有其他規格需求，歡迎與我們聯繫討論。