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CGS 1218
此系統為專門生長直徑較大尺寸晶體所設計的長晶爐。
技術參數
1. 坩鍋直徑:最大915mm(約36吋)
2. 晶體直徑:最大 450mm
3. 晶體長度:最長2.1 m
4. 填料量:最大 450 kg
5. 爐室直徑:約 1250 mm
6. 爐室高度:約 2200 mm
7. Gate valve diameter:500 mm
8. Receiving chamber:開門式
9. 重量:27000 kg
目錄
PVA TePla
柴式長晶爐
柴式長晶法
(CZ)
SC 22
EKZ3500
EKZ2700
OKZ300
CGS-Lab
CGS1218
區熔法長晶爐
區熔法
(FZ)
單晶爐 FZ 30
單晶爐 SR-110
單晶爐 FZ-14M
定向長晶法長晶爐
定向長晶法
(VGF)
多晶爐 VGF 732 Si HC
工業爐
工業爐
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感應加熱真空爐(IOV)
真空熔煉鑄造爐(VSG)
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碳化矽長晶系統
碳化矽長晶爐
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研磨倒角機
表面研磨機 72/860
倒角研磨機 72/852
圓角研磨機 72/856
研磨倒角複合機72/855
切割設備
外徑截斷機 72/360
外徑截斷機 72/454
帶鋸機 72/375
開方設備
開方機 72/475
開方機 72/476
上膠設備
自動上膠系統
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氬氣回收系統
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