EKZ3500

 

此系統為半導體長晶爐，本設備可依產品需求增加外部磁場設備系統。

EKZ3500
  技術參數
  1. 坩鍋直徑：最大610mm(約24吋)
  2. 晶體直徑：最大 300mm
  3. 晶體長度：最長2.7 m
  4. 填料量：最大 210 kg
  5. 爐室直徑：約 940 mm
  6. 爐室高度：約 1680 mm
  7. Gate valve diameter：304 mm
  8. Receiving chamber：開門式
  9. 重量：12800 kg