FZ-14M


 

FZ-14M是為了檢測需求而生。運作的原理是利用區熔法將微型的多晶矽棒轉變成單晶矽,接著放入適當的儀器以用來評估多晶矽材料的品 質和純度。在區熔法的過程中,多晶棒會被放置在充滿氬氣環境底下鑄造成一根單晶棒。這一根單晶棒將用分光分析法來分析其中的微量雜質,如硼、磷、鋁、砷和 碳等等。

  產品特色
  1. 所有部件無油
  2. 極低的(幾乎沒有)自然污染
  3. 部件的品質極佳
  4. 機台重量極輕(採用鋁框架 )
  5. 十分適合用於多晶矽的分析評估